Vorrichtung zur Polarisationsspezifischen Untersuchung eines Optischen Systems

WO2005003862 Art A1 13. Januar 2005

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005003862
Aktenzeichen: EP03740420
Anmeldetag: 5. Juli 2003
Veröffentlichung: 13. Januar 2005
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G01J4/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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