Optischer Verbundwerkstoff und dessen Herstellungsverfahren

WO2006089738 Art A1 31. August 2006

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006089738
Aktenzeichen: EP06707183
Anmeldetag: 22. Februar 2006
Veröffentlichung: 31. August 2006
Rechtsraum: WO
IPC: C03C14/00C03C1/02C04B41/45C04B41/50

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe

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