Optisches Element mit einer Antireflexbeschichtung, Projektionsobjektiv und Belichtungsvorrichtung mit einem Solchen Element

WO2006133884 Art A2 21. Dezember 2006

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2006133884
Aktenzeichen: EP06754312
Anmeldetag: 13. Juni 2006
Veröffentlichung: 21. Dezember 2006
Rechtsraum: WO
IPC: G02B1/11G02B1/02G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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