High-na projection objective with aspheric lens surfaces

WO2007025643 Art A1 8. März 2007

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007025643
Aktenzeichen: EP06776782
Anmeldetag: 11. August 2006
Veröffentlichung: 8. März 2007
Rechtsraum: WO
IPC: G02B17/08G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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