Dämpfungsvorrichtung

WO2010083965 Art A1 29. Juli 2010

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010083965
Aktenzeichen: EP10701808
Anmeldetag: 15. Januar 2010
Veröffentlichung: 29. Juli 2010
Rechtsraum: WO
IPC: G02B7/02F16F15/023G03F7/20G02B27/64F16F7/10F16F15/02

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Maschinenelemente & Fluidtechnik Optik & Fototechnik

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