Verfahren zur Politur einer Halbleiterscheibe

WO2011157493 Art A1 22. Dezember 2011

Anmelder: Siltronic AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2011157493
Aktenzeichen
EP11719261
Anmeldetag
12. Mai 2011
Veröffentlichung
22. Dezember 2011
Rechtsraum
WO
IPC
B24B37/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Siltronic AG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Siltronic

Deutscher Halbleiterzulieferer mit Sitz in München. Siltronic stellt hochreine Siliziumwafer für die Chip- und Elektronikindustrie her.

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