Strahlführungssystem zur Fokussierenden Führung von Strahlung einer Hochleistungs-Laserlichtquelle Hin zu einem Target sowie Lpp-Röntgenstrahlquelle mit einer Laserlichtquelle und einem Derartigen Strahlführungssystem

WO2013107660 Art A1 25. Juli 2013

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013107660
Aktenzeichen: EP13700267
Anmeldetag: 3. Januar 2013
Veröffentlichung: 25. Juli 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H05G2/00G02B26/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Optik & Fototechnik

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