Vorrichtung zur Beleuchtungsintensitätskorrektur zur Vordefinition einer Beleuchtungsintensität über einem Beleuchtungsfeld einer Lithografischen Projektionsbelichtungsvorrichtung
WO2013152951
Art A1
17. Oktober 2013
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2013152951
- Aktenzeichen
- EP13716222
- Anmeldetag
- 27. März 2013
- Veröffentlichung
- 17. Oktober 2013
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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