Mikrolithographische Beleuchtungseinheit

WO2018001652 Art A1 4. Januar 2018

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018001652
Aktenzeichen: EP17728790
Anmeldetag: 26. Mai 2017
Veröffentlichung: 4. Januar 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G02B6/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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