Messvorrichtung zur Interferometrischen Bestimmung einer Form einer Optischen Oberfläche

WO2018015014 Art A1 25. Januar 2018

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018015014
Aktenzeichen: EP17749603
Anmeldetag: 19. Juli 2017
Veröffentlichung: 25. Januar 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G01B9/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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