Projektionsbelichtungsanlage und Verfahren zur Verringerung aus Dynamischen Beschleunigungen Herrührenden Deformationen von Komponenten der Projektionsbelichtungsanlage

WO2018065183 Art A1 12. April 2018

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018065183
Aktenzeichen: EP17765450
Anmeldetag: 14. September 2017
Veröffentlichung: 12. April 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G02B7/182

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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