Rastersondenmikroskop und Verfahren zur Erhöhung einer Abtastungsgeschwindigkeit eines Rastersondenmikroskops bei der Abtastung im Step-In-Scanmodus

WO2018078011 Art A1 3. Mai 2018

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018078011
Aktenzeichen: EP17791071
Anmeldetag: 26. Oktober 2017
Veröffentlichung: 3. Mai 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G01Q10/04G01Q10/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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