Steuerungsvorrichtung zum Ansteuern einer Aktuatoreinheit einer Lithographieanlage, Lithographieanlage mit einer Steuerungsvorrichtung und Verfahren zum Betreiben der Steuerungsvorrichtung

WO2018114966 Art A1 28. Juni 2018

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018114966
Aktenzeichen: EP17821883
Anmeldetag: 19. Dezember 2017
Veröffentlichung: 28. Juni 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20H03K7/08G02B7/182

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Optik & Fototechnik

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