Optische Anordnung, insbesondere Lithographiesystem

WO2018133969 Art A1 26. Juli 2018

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018133969
Aktenzeichen: EP17797357
Anmeldetag: 13. November 2017
Veröffentlichung: 26. Juli 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G21K1/06G02B7/182

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Optik & Fototechnik

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