Verfahren zum Bestimmen eines Materialabtrags und Vorrichtung zur Strahlbearbeitung eines Werkstücks

WO2018171975 Art A1 27. September 2018

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018171975
Aktenzeichen: EP18704957
Anmeldetag: 8. Februar 2018
Veröffentlichung: 27. September 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G01B11/06B29D11/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Kunststoff- & Polymertechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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