Optische Anordnung zur Lenkung eines Ausgangsstrahls eines Freien Elektronenlasers

WO2018177840 Art A1 4. Oktober 2018

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018177840
Aktenzeichen: EP18713615
Anmeldetag: 21. März 2018
Veröffentlichung: 4. Oktober 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G02B17/08G02B5/02G02B5/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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