Verfahren zur Reinigung von Optischen Elementen für den Ultravioletten Wellenlängenbereich

WO2018197191 Art A1 1. November 2018

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018197191
Aktenzeichen: EP18717024
Anmeldetag: 9. April 2018
Veröffentlichung: 1. November 2018
Rechtsraum: WO
IPC: B08B5/00B08B7/00G03F7/20G02B27/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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