Gewichtskraftkompensationseinrichtung

WO2019020315 Art A1 31. Januar 2019

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019020315
Aktenzeichen: EP18737852
Anmeldetag: 29. Juni 2018
Veröffentlichung: 31. Januar 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20F16C32/04G02B7/182H02N15/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Maschinenelemente & Fluidtechnik Optik & Fototechnik

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