Verfahren zum Bearbeiten eines Werkstücks bei der Herstellung eines Optischen Elements

WO2019052743 Art A1 21. März 2019

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019052743
Aktenzeichen: EP18755417
Anmeldetag: 6. August 2018
Veröffentlichung: 21. März 2019
Rechtsraum: WO
IPC: B24D11/04B24B13/00B24B37/26B24B37/16

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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