Verfahren zur Herstellung eines Spiegels als Optische Komponente für ein Optisches System einer Projektionsbelichtungsvorrichtung für die Projektionslithografie

WO2019052790 Art A1 21. März 2019

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019052790
Aktenzeichen: EP18759288
Anmeldetag: 22. August 2018
Veröffentlichung: 21. März 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G02B27/00G02B5/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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