Verfahren und Vorrichtung zur Charakterisierung der Oberflächenform eines Optischen Elements

WO2019063247 Art A1 4. April 2019

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019063247
Aktenzeichen: EP18769949
Anmeldetag: 4. September 2018
Veröffentlichung: 4. April 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G01B9/02G01B11/24G01M11/00G01M11/02G03F7/20G06T7/55

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung

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