Kompensationsoptik für ein Interferometrisches Messsystem

WO2019063437 Art A1 4. April 2019

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019063437
Aktenzeichen: EP18782337
Anmeldetag: 21. September 2018
Veröffentlichung: 4. April 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G01B9/02G01B11/24G01M11/00G02B5/32G02B26/06G02B27/09G01J9/02G03F7/20G01N21/17

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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