Verfahren zur Temperaturregelung eines Bauteils

WO2019081187 Art A1 2. Mai 2019

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019081187
Aktenzeichen: EP18795300
Anmeldetag: 8. Oktober 2018
Veröffentlichung: 2. Mai 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G05D23/19H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

1.949 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

Vertreten von