Verfahren zur Wiederherstellung eines Beleuchtungssystems für ein Euv-Gerät und Detektormodul

WO2019081555 Art A1 2. Mai 2019

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019081555
Aktenzeichen: EP18796389
Anmeldetag: 24. Oktober 2018
Veröffentlichung: 2. Mai 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G02B27/62G01B11/00G01M11/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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