Verfahren und Vorrichtung zur Kalibrierung einer Diffraktiven Messstruktur

WO2019101419 Art A1 31. Mai 2019

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019101419
Aktenzeichen: EP18795306
Anmeldetag: 10. Oktober 2018
Veröffentlichung: 31. Mai 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G01M11/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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