Optisches Element zur Strahlführung von Bildgebungslicht in der Projektionslithographie

WO2019141516 Art A1 25. Juli 2019

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019141516
Aktenzeichen: EP19700126
Anmeldetag: 3. Januar 2019
Veröffentlichung: 25. Juli 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G02B7/182G02B26/08G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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