Verfahren zum Polieren eines Werkstücks bei der Herstellung eines Optischen Elements

WO2019162051 Art A1 29. August 2019

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019162051
Aktenzeichen: EP19704553
Anmeldetag: 30. Januar 2019
Veröffentlichung: 29. August 2019
Rechtsraum: WO
IPC: B24B13/00B24B9/14B24B29/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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