Optisches Element, sowie Verfahren zur Korrektur der Wellenfrontwirkung eines Optischen Elements

WO2019170414 Art A1 12. September 2019

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019170414
Aktenzeichen: EP19708790
Anmeldetag: 20. Februar 2019
Veröffentlichung: 12. September 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G02B27/00G02B26/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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