Verfahren und Vorrichtung zur Inspektion einer Maske

WO2019185296 Art A1 3. Oktober 2019

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019185296
Aktenzeichen: EP19710330
Anmeldetag: 28. Februar 2019
Veröffentlichung: 3. Oktober 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/84G01N21/956G01N23/2055

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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