Verfahren und Vorrichtung zur Bewertung eines Unbekannten Effekts von Defekten eines Elements eines Photolithographieverfahrens

WO2019219826 Art A1 21. November 2019

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019219826
Aktenzeichen: EP19725123
Anmeldetag: 16. Mai 2019
Veröffentlichung: 21. November 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G06K9/62G03F1/84G06T7/00G01N21/956

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung

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