Inspektionssystem und Inspektionsverfahren zur Qualifizierung von Halbleiterstrukturen

WO2020001954 Art A1 2. Januar 2020

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss Microscopy, LLC 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020001954
Aktenzeichen: EP19731629
Anmeldetag: 7. Juni 2019
Veröffentlichung: 2. Januar 2020
Rechtsraum: WO
IPC: H01J49/00H01J49/14G01N23/2258G01N27/62H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss Microscopy, LLC
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

1.949 Patente in unserer Datenbank

🇩🇪 Carl Zeiss Microscopy GmbH

Deutscher Hersteller von Mikroskopen und Bildgebungssystemen für Forschung und Industrie, Teil der Zeiss-Gruppe.

564 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Vertreten von