Verfahren zur Herstellung eines Reflektierenden Optischen Elements einer Projektionsbelichtungsvorrichtung und Reflektierendes Optisches Element für eine Projektionsbelichtungsvorrichtung, Projektionslinse und Projektionsbelichtungsvorrichtung

WO2020011788 Art A1 16. Januar 2020

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020011788
Aktenzeichen: EP19748710
Anmeldetag: 9. Juli 2019
Veröffentlichung: 16. Januar 2020
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G21K1/06G02B5/08G02B1/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Optik & Fototechnik

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