Reflektives Optisches Element
WO2020011853
Art A1
16. Januar 2020
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2020011853
- Aktenzeichen
- EP19740515
- Anmeldetag
- 10. Juli 2019
- Veröffentlichung
- 16. Januar 2020
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G02B5/08
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Fachgebiete
Vertreten von
-
Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss SMT GmbH · Oberkochen