Verfahren zum in Situ Schutz einer Aluminiumschicht und Optische Anordnung für den Vuv-Wellenlängenbereich

WO2020115109 Art A1 11. Juni 2020

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020115109
Aktenzeichen: EP19817216
Anmeldetag: 4. Dezember 2019
Veröffentlichung: 11. Juni 2020
Rechtsraum: WO
IPC: G02B5/08G02B27/00G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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