Verfahren zum Ersetzen eines Spiegels in einem Projektionsbelichtungsgerät sowie Positions- und Orientierungsdatenmessvorrichtung zur Durchführung des Verfahrens

WO2020115204 Art A1 11. Juni 2020

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020115204
Aktenzeichen: EP19813853
Anmeldetag: 5. Dezember 2019
Veröffentlichung: 11. Juni 2020
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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