Schutzvorrichtung für Leitungen in einer Projektionsbelichtungsanlage für die Halbleiterlithographie

WO2020148023 Art A1 23. Juli 2020

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020148023
Aktenzeichen: EP19820713
Anmeldetag: 10. Dezember 2019
Veröffentlichung: 23. Juli 2020
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20H02G11/00H02G3/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Optik & Fototechnik

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