Projektionsbelichtungsanlage für die Halbleiterlithographie mit einer Optischen Anordnung

WO2020157111 Art A1 6. August 2020

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020157111
Aktenzeichen: EP20702632
Anmeldetag: 29. Januar 2020
Veröffentlichung: 6. August 2020
Rechtsraum: WO
IPC: G02B7/185G03F7/20G02B27/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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