Vorrichtung und Verfahren zur Charakterisierung der Oberflächenform eines Testobjekts

WO2020164786 Art A1 20. August 2020

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020164786
Aktenzeichen: EP19835420
Anmeldetag: 21. Dezember 2019
Veröffentlichung: 20. August 2020
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G01B9/02G01M11/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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