Aktuatoreinrichtung und Verfahren zur Ausrichtung eines Optischen Elements, Optische Baugruppe sowie Projektionsbelichtungsanlage

WO2020177944 Art A1 10. September 2020

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020177944
Aktenzeichen: EP20703395
Anmeldetag: 24. Januar 2020
Veröffentlichung: 10. September 2020
Rechtsraum: WO
IPC: G02B7/182G03F7/20H02K41/035

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Optik & Fototechnik

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