Verfahren zum Kalibrieren eines Interferometers

WO2021032587 Art A2 25. Februar 2021

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021032587
Aktenzeichen: EP20764949
Anmeldetag: 13. August 2020
Veröffentlichung: 25. Februar 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G01M11/00G01B9/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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