Messvorrichtung zur Interferometrischen Bestimmung einer Oberflächenform

WO2021063766 Art A1 8. April 2021

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021063766
Aktenzeichen: EP20789463
Anmeldetag: 23. September 2020
Veröffentlichung: 8. April 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G01B9/02G01M11/00G03H1/00G02B5/32G02B5/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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