Verfahren zur Messung eines Reflexionsvermögens eines Objekts zur Lichtmessung und Messsystem zur Durchführung des Verfahrens

WO2021073993 Art A1 22. April 2021

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021073993
Aktenzeichen: EP20789919
Anmeldetag: 8. Oktober 2020
Veröffentlichung: 22. April 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/55

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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