Verfahren zum Bestimmen einer Optischen Phasendifferenz von Messlicht einer Messlichtwellenlänge über eine Oberfläche eines Strukturierten Objekts

WO2021073994 Art A1 22. April 2021

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021073994
Aktenzeichen: EP20789068
Anmeldetag: 8. Oktober 2020
Veröffentlichung: 22. April 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/84G01N21/956G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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