Optisches Element mit einer Schutzbeschichtung, Verfahren zu dessen Herstellung und Optische Anordnung

WO2021115733 Art A1 17. Juni 2021

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021115733
Aktenzeichen: EP20807733
Anmeldetag: 16. November 2020
Veröffentlichung: 17. Juni 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G02B5/08G21K1/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Optik & Fototechnik

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