Messvorrichtung zur Interferometrischen Formvermessung

WO2021148363 Art A1 29. Juli 2021

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021148363
Aktenzeichen: EP21702863
Anmeldetag: 19. Januar 2021
Veröffentlichung: 29. Juli 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G01B9/02G01M11/00G01B11/24

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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