Verfahren zum Verfolgen und zur Identifizierung von Komponenten von Lithografiesystemen und Lithografiesystem

WO2021156129 Art A1 12. August 2021

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021156129
Aktenzeichen: EP21702451
Anmeldetag: 28. Januar 2021
Veröffentlichung: 12. August 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G06K19/07

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung

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