Projektionsbelichtungsanlage für die Halbleiterlithographie mit einem Schwingungstilger und Verfahren zur Auslegung eines Schwingungstilgers

WO2021239324 Art A1 2. Dezember 2021

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021239324
Aktenzeichen: EP21720210
Anmeldetag: 15. April 2021
Veröffentlichung: 2. Dezember 2021
Rechtsraum: WO
IPC: F16F15/04F16F7/12G02B7/18G02B27/64G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Maschinenelemente & Fluidtechnik Optik & Fototechnik

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