Optisches Element für eine Euv-Projektionsbelichtungsanlage

WO2021259634 Art A1 30. Dezember 2021

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021259634
Aktenzeichen: EP21732229
Anmeldetag: 8. Juni 2021
Veröffentlichung: 30. Dezember 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G21K1/06G02B5/08G02B5/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Optik & Fototechnik

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