Projektionsobjektiv mit einer Optischen Vorrichtung

WO2022023313 Art A1 3. Februar 2022

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022023313
Aktenzeichen: EP21749620
Anmeldetag: 27. Juli 2021
Veröffentlichung: 3. Februar 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G02B26/00H01L41/08

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

1.949 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

Vertreten von