Verfahren und Vorrichtung zur Charakterisierung der Oberflächenform eines Optischen Elements

WO2022037898 Art A1 24. Februar 2022

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022037898
Aktenzeichen: EP21754744
Anmeldetag: 23. Juli 2021
Veröffentlichung: 24. Februar 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G01B9/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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